防靜電無(wú)塵手套和手指套是電子工業(yè)精密制程中需要防護(hù)人員的資材，對(duì)其性能指標(biāo)的全面測(cè)試評(píng)估是非常有必要的。本文詳列了無(wú)塵室用防靜電手套手指套的測(cè)試指標(biāo)及對(duì)應(yīng)評(píng)測(cè)方法。對(duì)于電子行業(yè)從業(yè)者評(píng)估適合的防靜電手套手指套有一定的指導(dǎo)意義。
操作人員被視為無(wú)塵室內(nèi)污染物發(fā)生源。人員發(fā)塵對(duì)于無(wú)塵環(huán)境的顆粒數(shù)達(dá)到80%。所以，無(wú)塵室內(nèi)操作人員必須通過穿著無(wú)塵服、手套等來(lái)保證環(huán)境的潔凈度。手套作為直接接觸產(chǎn)品的物品，是整個(gè)防護(hù)系統(tǒng)中關(guān)鍵的部位，除了確保人員不會(huì)污染受控環(huán)境中關(guān)鍵生產(chǎn)工藝區(qū)域的潔凈度，還不能直接對(duì)產(chǎn)品造成二次污染。無(wú)塵室手套主要管控的微污染物有：顆粒、離子、硅油、防靜電指標(biāo)等。從手套材質(zhì)來(lái)分，主要有丁腈、乳膠和PVC材質(zhì)（如圖1所示）。從尺寸上來(lái)劃分，主要分為9寸和12寸。根據(jù)不同的要求選擇不同的手套，無(wú)塵室級(jí)別越高，對(duì)所使用的手套的要求也越高。
同樣的，操作人員也是制程因素中靜電的高發(fā)源，靜電起電和靜電放電尤其容易發(fā)生在手部與產(chǎn)品的接觸分離過程中，控制人員手部與產(chǎn)品的摩擦起電狀況是有幫助的，這同樣需要對(duì)所使用防護(hù)手套的性能進(jìn)行評(píng)測(cè)。
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